高普考題庫
107 年 107年公務人員高等考試三級考試暨普通考試

半導體工程

本卷皆為申論題,點「看答案與解析」查看擬答。

申論 1半導體材料矽(Si)及砷化鎵(GaAs):㈠試分別指出其為何種晶格結構(crystal structure)?(5 分)㈡請說明兩者之能帶圖結構各為直接能隙(direct bandgap)或間接能隙(indirectbandgap)?(10 分)
申論 2砷化鎵(GaAs)於溫度T=300K時,其能隙(bandgap)E=.142eV、本質載子濃g度(intrinsic carrier concentration)n.226106cm−3;波茲曼常數(Boltzmann’s=×i,300Kconstant)k.86210−5 eV/K。設升溫至T450K時,其E 維持不變,試求砷化鎵=×=g在450 K 之本質載子濃度n =?(10 分)i,450K
申論 3假設在一半導體中之載子傳輸以漂移(drift)為主要機制:㈠請說明「載子遷移率(carrier mobility, μ)」之物理意義?(10 分)㈡請寫出μ 之物理單位?(5 分)
申論 4假設在矽(Si)半導體中,其電子濃度依位置x 變化之分布函數可表示為n(x)1015e−x/Lcm−3(x0)diffusion lengthL10 −4cm=n ≥,電子之擴散長度()=,電ndiffusivityD25cm2s/q6.110−19Cx2μm子之擴散率()=,單位電量=×。試求在=n處,電子擴散電流密度J=?(10 分)n
申論 5請說明p-n 接面因外加逆向偏壓、導致接面崩潰(junction breakdown)時,常見之兩種物理機制?(10 分)
申論 6請分別說明:短通道效應(short-channel effect)及窄通道效應(narrow-channel effect),對於金屬-氧化物-半導體場效電晶體(MOSFET)臨界電壓(threshold voltage, V)T之影響?(10 分)
申論 7「基極寬度調變(base width modulation)效應」為雙極性電晶體(bipolar transistor)非理想效應(nonideal effects)之其一,請說明導致此效應之原因及其對於電晶體共射極輸出特性曲線(I-V)之影響?(10 分)CCE
申論 8假設以氟原子(F)進行矽(Si)或二氧化矽(SiO)的蝕刻時,其蝕刻率可表示為:1−Ea蝕刻率(nm/min)=A×n×T2×eRTF其中,氣體常數R=.1987 cal-K,該常數(A)及活化能(E)參數值表列如下:a材料 A EaSi 2.86 × 10-132.48 kcal/molSiO 6.14 × 10-143.76 kcal/mol15 −3假設氟原子濃度n=3×10cm,試求在溫度T=300K時,其對SiO 與Si 的蝕刻F2選擇比為何?(20 分)