申論 5在熱氧化製程中，分析發現氧化物厚度x 與氧化時間t 之間的關係為下列的二次方ox程式：x2+Ax=Btoxox㈠在剛開始氧化的初期，求氧化物厚度x=？（表示為t 之函數）（5 分）ox㈡當氧化反應持續很久之後，求氧化物厚度x=？（表示為t 之函數）（5 分）ox下列實驗數據是在920°C 下進行溼氧化所得到的原始成長速率關係：時間t(hr) 0.11 0.30 0.40 0.50 0.60氧化物厚度x(μm) 0.0410.100 0.128 0.1530.177ox由上述實驗數據求該氧化製程的係數：㈢ A=？（5 分）㈣B=？（5 分）