106 年 106年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・安全工程 申論 4矽甲烷（SiH）、磷化氫（PH）、砷化氫（AsH）為半導體光電產業常使用的特殊氣體，說明上述三種特殊氣體的危害性？半導體光電產業中的那一個產業（半導體、面板業(TFT-LCD)、發光二極體(LED)、太陽能電池）沒有使用到砷化氫？相對於矽甲烷的使用量，半導體光電產業中的那一個產業砷化氫、磷化氫的使用量較高？（25 分） 看答案與解析