99 年 099年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・輻射應用及其防護 申論 6離子佈植機（ion implanter）又稱為離子注入機，其可將能量為數萬電子伏（數十keV）至數十萬電子伏（數百keV）的離子植入固體表面的設備，常用於半導體產業界。請敘述離子佈植機的輻射防護。（10 分） 看答案與解析