96 年 096年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・工業化學概要 申論 5試回答下列半導體元件製程中之各項問題：㈠薄膜沉積技術可區分為那兩種？（4 分）㈡微影技術之意義。（8 分）㈢蝕刻技術之意義及分類。（8 分） 看答案與解析